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Ion induced segregation in gold nanostructured thin films on silicon

机译:离子诱导硅上金纳米结构薄膜的偏析

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摘要

We report a direct observation of segregation of gold atoms to the nearsurface regime due to 1.5 MeV Au2+ ion impact on isolated gold nanostructuresdeposited on silicon. Irradiation at fluences of 6x10^13, 1x10^14 and 5x10^14ions cm-2 at a high beam flux of 6.3x1012 ions cm-2 s-1 show a maximumtransported distance of gold atoms into the silicon substrate to be 60, 45 and23 nm, respectively. At a lower fluence (6x1013 ions cm-2) transport has beenfound to be associated with the formation of gold silicide (Au5Si2). At a highfluence value of 5x10^14 ions cm-2, disassociation of gold silicide andout-diffusion lead to segregation of gold to defect - rich surface andinterface region.
机译:我们报告直接观察到金原子偏析到近表面区域,这是由于1.5 MeV Au2 +离子对沉积在硅上的孤立金纳米结构的影响。在6.3x1012离子cm-2 s-1的高光束通量下,以6x10 ^ 13、1x10 ^ 14和5x10 ^ 14ions cm-2的注量辐照显示,金原子到硅衬底的最大传输距离为60、45和23纳米。在较低的通量(6x1013离子cm-2)下,发现运输与硅化金(Au5Si2)的形成有关。在5x10 ^ 14离子cm-2的高通量值下,硅化金的解离和外扩散会导致金偏析成缺陷-富集的表面和界面区域。

著录项

  • 作者

    Ghatak, J.; Satyam, P. V.;

  • 作者单位
  • 年度 2008
  • 总页数
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种
  • 中图分类

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